真空熱處理不僅是某些特殊合金熱處理的必要手段,而且在一般工程用鋼的熱處理中也獲得應用,特別是工具、模具和精密耦件等。眾所周知零件經真空熱處理后,畸變小,質量高,且工藝本身操作靈活,無公害。

經真空熱處理后使用壽命較一般熱處理有較大的提高。例如某些模具經真空熱處理后,其壽命比原來鹽浴處理的高40~400%,而有許多工具的壽命可提高3~4倍左右。此外,真空加熱爐可在較高溫度下工作,且工件可以保持潔凈的表面,因而能加速化學熱處理的吸附和反應過程。因此,某些化學熱處理,如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼,以及多元共滲都能得到更快、更好的效果。