真空爐在我國的發展時間不長，由于生產成本高和一次性投資大，因此其應用的范圍也受到一定的限制，在國外工業發達國家真空爐的數量在23%以上，與可控氣氛爐基本相當，其發展的進度很快，機械化程度和工藝水平更高，幾乎可以實現金屬材料的全部熱處理工藝，如淬火、回火、退火、滲碳、氮化、滲金屬等熱處理工藝，完成氣淬、油淬、硝鹽淬和水淬等淬火處理。對工模具鋼而言，在真空爐內加熱時，減少了輻射換熱，加熱的速度緩慢，零件的各部分受熱均勻，因此變形量很小。冷卻后的零件表面處于壓應力狀態，故零件具有良好的綜合作用，疲勞強度和抗拉強度明顯提高，使用壽命比普通的鹽浴爐處理的零件提高2～10倍。

按工藝的種類，真空爐可以實現真空淬火和回火、真空退火、真空固溶和時效、真空燒結、真空化學熱處理以及真空鍍膜等，因此真空爐可實現別的熱處理設備無法處理的復雜工藝，隨著社會的進步和科學技術的發展，必將發揮其巨大的作用。因此從某種意義上講，真空爐為幾乎所有的有色金屬和黑色金屬退火、淬火、回火、化學熱處理等提供了保障。

對耐熱鋼、不銹鋼等零件經真空退火后，表面光潔，提高了零件的表面的抗腐蝕性和對晶粒間的腐蝕能力。另外可實現真空堆焊、軟化退火、真空鍍膜等，其他熱處理設備是無法比擬的。

機翼大梁、起落架、高強度螺栓等重要飛機零件的材料為30CrMnSiA、30CrMnSiNi2A經真空熱處理后，抗拉強度提高，而其塑性和韌性沒有發生明顯的變化，斷裂韌性降低而低溫的沖擊韌性較高。疲勞強度提高了100倍以上，沖擊磨損和低溫拉伸壽命分別提高1.5～2.4倍和1.6～3.5倍，顯示了真空熱處理的優勢。

除了上述幾類熱處理加熱設備外，還有完成表面加熱的感應加熱設備、火焰加熱裝置、激光加熱裝置、電阻加熱、電接觸加熱等，它們具有加熱時間短、生產效率高、表面硬度高、有高的疲勞強度等特點，感應加熱設備缺點也是十分明顯的，無法進行大批量的作業，設備的投資大等?；鹧婕訜峋哂徐`活操作的特點，但質量很難得到有效的保障，常作于非重要零件的熱處理。