泵的基本參數是極限真空度、最大出口壓強、抽氣速率和前置壓強等。

(1)真空泵的極限真空度

真空泵在無負載條件下，即封閉泵的進氣口時，經過長時間抽氣運行后，所能達到的最低壓強值，稱為泵的極限真空度。

(2)真空泵的最大出口壓強

真空泵正常運轉后，排氣口所排出氣體的最大壓強值，稱為泵的最大出口壓強。

(3)泵的抽氣速率

真空泵在單位時間內，所抽出的氣體量稱為泵的抽氣速率。泵的抽氣速率隨入口處壓強的變化而改變。壓強越低抽氣速率越小，相反即大。

(4)泵的前置壓強

為保證真空泵安全運轉，在泵的進氣口處需要維持的最低壓強稱為泵的前置壓強，又稱泵的啟動壓強。