真空熱處理是應用面很廣的無氧化熱處理技術，也是當前熱處理技術先進程度的主要標志之一。真空熱處理不僅可實現鋼件的無氧化、無脫碳，還可以實現生產的無污染和工件的少畸變，因而還屬于清潔和精密生產技術范疇。
工件畸變小是真空熱處理的一個非常重要的優點，據國內外經驗，工件真空熱處理的畸變量僅為鹽浴加熱淬火的三分之一。

現代真空熱處理爐是指可施行元件的真空加熱，然后在油中淬火或在常壓和加壓氣體中淬火的冷壁式爐子。研究開發真空熱處理設備是一項綜合性強、跨學科、牽涉到很多科技領域的工作。近幾年，國際上有研究開發使用氣體燃料的燃燒式真空爐的動向。在真空爐中采用氣體燃料加熱的困難太多，雖然有節約能源的說法，但不一定是一個重要的發展方向。

工模具材料的真空熱處理的應用前景很大。大多數工模具鋼目前都采取在真空中加熱，然后在氣體中冷卻淬火的方式。為了使工件表面和內部都獲得滿意的力學性能，必須采用真空高壓氣淬技術。

目前國際上真空氣淬的氣壓已從0.2MPa、0.6MPa提高到1～2MPa甚至3MPa。高壓氣淬真空爐的冷卻氣體壓力的逐步提高是一個重要的發展趨勢。除高壓氣淬外，在先抽真空而后填充高壓惰性氣體后施行對流加熱可以比傳統真空輻射加熱速度提高一倍以上，從而明顯提高加熱效率也是真空加熱技術的重要方向之一。向多功能發展也是真空爐的趨勢之一。